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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

产品底色 某玄幻半导体行业出产加工中小公司处在长半圆东南部,最主要的出产晶圆和集成电路芯片。在出产环节中,晶圆水刀切割和打蜡 的阶段制造大量磨细液废渣,单日减排量约50吨。犹豫废渣中具有刺激性高渗透压漂浮物、彩石正离子及巧妙填加剂,进行减排会对情况产生频发环保问题,中小公司现需制作职业 进行处理公用设施。 废污水成分表及种类 研磨设备液废污水通常因素于晶圆代加工中的化学工业自动化设备cnc精密机械加工(CMP)工艺,通常污染问题物包涵: 浮动粒子物 :二硫化物硅、硫化物铝等机磨粒状,颗粒直径在0.1-1μm,溶液浓度高达到2000mg/L。 材料亚铁离子 :铜、铁、锌等,原于打磨垫刹车盘磨损及晶圆漆层金属制层,铜阴阳离子质量浓度约50mg/L。 巧妙放入剂 :包扩面抗逆性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。 耐酸酸性物品 :pH值跌涨大,一般性在2-11相互。 补救生产技术的流程 争对废污水基本特性,分为“预净化除理+生物化学+纵深净化除理”組合生产工艺: 调高池 :多样化地表水用水量,增加强酸强碱调接pH至比较适中。 混疑乳浊液 :添加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),除掉自动隐藏物和氢氧化铁,沉降后SS除掉率>90%。 崔化氧化物 :应用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料有机肥料插入剂,COD弄掉率达60%。 生物学工作 :MBR膜菌物反馈器进1步可降解剩于可挥发物,COD低于100mg/L有以下。 阳离子变换 :专用箱硅胶粘合剂溶解铜铁离子,有水出铜含水量<0.5mg/L。 砂滤+催化活性炭活性炭过滤器活性炭过滤 :保障出液清新,可达《废水全方位的排卸标》(GB8978-1996)考试内容一级标。 最后特效 控制系统运营稳定可靠后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。 工业生活污水处理率达40%,其他未达标污染物,年缩短生活污水污染物1.6万吨。 处里投资成本约15元/吨,远不高于服务业一般。

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