半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
新项目视频背景
该商家靠近辽宁省成都市,核心转做舒适半导体技术IC芯片的封裝自测,日直接释放废水补救流量约200吨。因为产量的过程中用多种类化学上的解毒药,废水补救部分比较复杂,包含高盐浓度铜、镍等血本属同时环氧不饱和树脂不饱和树脂、光刻胶等有机肥料环境污染物质。商家本来的补救配套设施无非要求最近直接释放细则,急需要升级系统升级改造。
废渣组分及种类
塑胶电镀废气
:由来于IC芯片引脚电镀工艺工艺流程,包含铜、镍、锡等天价属阴阳离子,pH值变化大。
无机焦化废水
:核心位于芯片封装胶固有、光刻技术,富含环氧漆不饱和树脂、异丙醇、异丙醇等有机会高沸点溶剂。
强酸强碱废气
:带来于晶圆家电清洗和蚀刻工艺,内含氢佛酸、硫酸钠、氢腐蚀钠等。
补救工艺设计步骤
预正确处理时段
碱酸采和
:进行投药整体自动调节pH至6-9,防止前因后果整理主设备的腐蚀。
水泥混凝土奠定
:加药PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),去掉飘浮物和组成部分高价属。
内在处置阶段性
高档钝化
:适用Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)分解成难分解有机会物,COD取除率达70%上文。
膜过滤装置
:超滤膜(UF)+超滤性(RO)结合工序,进那步截流血本属和融化性生物碳物。
的深度正确处理周期
亚铁离子变换
:专门采取采取铜、镍正离子,加强组织领导水流高价属占比底于0.5mg/L。
生物炭活性炭吸附
:作决定维护,除去残余物少量巧妙物。
结果是目的
经加工后,满水后水体质量完成《电子器件企业水严重空气污染物直接废气排放标准》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,使用率不断提升至60%,历年避免浪费用水量资金约80亿元。