该晶圆研制厂隶属于华南位置,注意生孩子制造8英尺半导体芯片晶圆,单日焦化废水摆缩量上涨约800吨。由生孩子制造步骤中运行许多氢佛酸完成晶圆蚀刻,引起焦化废池里氟化物密度更是高达200-300mg/L,远超中国摆放标准(10mg/L之下)。
废污水成分表及主要来源
废水处理方法主要是出自这几个部分:
晶圆蚀刻程序
:含高含量氟化物(HF)、硝酸铵及少量的血本属
化学工业机械性抛光剂(CMP)污废水
:含纳米技术级硅粒状、巧妙络合剂
装置冲洗工业废水
:含异丙醇、氧化还原电位等有机会物
处置操作流程操作流程
采取"化学上积累+沥青混凝土积累+强度筛选"3级进行处理操作系统:
七级处理
:加药系统氯化钙和氢硫化钙,成型氟化钙凝固,氟化物祛除率达85%
两级治理
:填加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),删去电解质溶液态水污染源
四级正确处理
:按照多物质滤水器和渗透性炭树脂吸附,留水氟化物酸度动态平衡在8mg/L下述
至关重要机械设备主要包括:pH自己调整软件系统、斜管水解池、板框压泥机(污泥处理脱水器)。
最终能够功能
新项目程序运行三年期探测数据源信息显示:
氟化物的平均氧化还原电位:7.2mg/L(高于国家标淮)
COD祛除率:92%
飞灰含水量率:≤65%
年收废氟化钙副食品约150吨,完成材料化巧用