该厂为89英寸晶圆产出线匹配的超净水设计，每晚制造含硅废渣150吨。废渣中虽无血本属，但硅含量的高易积灰，且电容率需达到18MΩ·cm才华中水回用。和原有处置加工無法提供新颁布实施的《光学化工水严重固体废弃物废气标准的》（GB39731-2020）特备废气限制值。 废液部分特色 主要是环保问题物 ：固体硅（200-300mg/L）、粉末硅（粒度0.1-1μm） 特俗想要 ：TOC<10μg/L，硼分子量<5μg/L 水体因素 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质体型很复杂 进行处理工艺方法方法 的创新采取"梯级膜剥离+电去阳离子"组合成技术： 微滤预加工 ：1μm瓷器膜过滤大颗粒物硅，通量维护80LMH 阴阳离子变换硅橡胶 ：D201大孔聚酯树脂的可选择性吸硅酸团伙 二级考试RO程序 ：1、段环保再生资源回产出率60%，第一段适用高脱硼膜元器件 EDI电去正离子 ：工作电流溶解度2A/m²，持续性洗去残存正离子 太阳光的紫外线臭氧消毒 ：254nm太阳中的紫外线线药量40mJ/cm² 的技术短板 開發专门的阻硅剂（生物碳胺类塑料物），减慢膜环境破坏期3倍 EDI功能模块科学创新流道设计的，硅除去率提高了至99.8% 线下硅分享仪（量测标准0.1-500μg/L）推动靶向保持 操作成效明显 经然后方验测： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L高于0.3μg/L 体系回笼率从原40%优化至68% 膜拆换时间间隔延长了至5年，年使用制造费调低35%