东莞某半导体器件加工整理器制作业厂，晶圆加工生产的时候中产生了含硅、氟的特有废水整理的方法加工整理的方法，方案加工整理经营规模1200吨/日。废水整理的方法加工整理的方法材料比较复杂，有納米级硅科粒及盐酸，常用加工整理的方法很难达到。 废气成分表及来源于 基本污染源物 ：氢氧化铁硅（100-500nm颗粒直径）、氟铝离子（200-300mg/L）、异丙醇 因素工艺 ：晶圆刻蚀化工废水处理（45%）、CMP耐腐蚀机增加光泽化工废水处理（40%）、的设备清洗道路水（15%） 治疗制作工艺步骤 去创新采用了"化学上的奠定+机械膜转移"系统路线规划： 钙盐沉淀物中 ：加药氯化钙剔除氟阴离子（绘制CaF2滤渣） 二沉池反映 ：pp斜管沉淀池剂实现了悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm管径膜挪作他用微细颗粒肥料 ro反渗透性和系统性 ：脱盐率>98%，回收分类处理率75% 蒸发掉结晶体 ：浓水段体现氟化物0排放口 终极治疗效果 氟化物质量浓度：<8mg/L（不超国家3级标准规定10mg/L） 硅含量：<5mg/L 水成本工业废水处理率：70%使用保压塔保湿补水 危险废物减药：蒸馏渣子量较传统的施工工艺变少60%